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爱赢体育:石墨盒

来源:/product790584.html 发布时间:2021/12/8 17:11:22 返回列表

石墨盒

产品详情

  石墨盒采用专用材料,可以让石墨盒产品比普通石墨材料产品耐用超过2倍以上,使用寿命更加长久,承受超过2200℃的高温!

  石墨盒具有以下特征:

  1、加工速度,高速铁粗加工较铜块3被,高速铁精加工较铜块5倍;

  2、可加工性能好,能实现复杂的几何造型;

  3、重量轻,密度不足铜的1/4,电池容易夹持;

  4、可有效减少单个电极的数量,因为可捆绑做成组合电极;

  5、良好的热稳定性,可针对石墨坩埚即热急冷的使用条件,特别配方;

  6、良好的耐冲击性能,可有效保证产品质量的可靠性。

  1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

  2、用于硅外延设备,表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座,MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

  3、离子注入用石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件,等离子刻蚀用石墨电极,半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

  4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的石墨坩埚、石墨舟皿及其配件,直拉锗与化合物单晶的高纯石墨加热器、保温罩等。

  5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。

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