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爱赢体育:高纯石墨

来源:/product790696.html 发布时间:2021/12/9 9:15:44 返回列表

高纯石墨

产品详情

  石墨含量在99.9%以上的石墨叫高纯石墨。高纯石墨具有电阻系数小、耐高温、抗热震性好、导电、导热膨胀系数小、自润滑,易于精密机加工的优点,鳞片洁净完整、片薄且韧性好,物理化学性能好,是理想的无机非金属材料。

  合成的高纯石墨与天然高纯石墨相比,纯度更高、粒径更小、厚度处在纳米尺度范同内,但其经向宽度可以达到数个到数十个微米,具有超大的形状比,并且保持了石墨原有的平面形碳六元环共轭晶体结构,具有良好的机械强度、导电、导热性能以及良好的润滑、耐高温特性。

  1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

  2、用于硅外延设备,表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座,MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

  3、离子注入用石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件,等离子刻蚀用石墨电极,半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

  4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的石墨坩埚、石墨舟皿及其配件,直拉锗与化合物单晶的高纯石墨加热器、保温罩等。

  5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。

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